分光干涉式激光位移计

产品阵容

SI-T 系列 - 分光干涉位移型多层膜厚测量仪

实现多层膜厚, 采用近红外光?没有危害, 实时在线检测,一秒1000次的采样频率,为当今膜厚测量仪的提供新的可能性。

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SI-F 系列 - 微型传感头型分光干涉式 激光位移计

业界超细微型传感器头,超高精度,无一般传感器的发热问题,也不受电磁噪声影响。

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SI-F80R 系列 - 分光干涉式晶片厚度计

采用近红外 SLD,即使已贴附 BG 带也可测量晶片本身的厚度。即使晶片表面存在由于图案而产生的显著差异,也可实现准确的生产线上测量。

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